第197章 涌向CK的暗流
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  狂欢的气氛被推向了高潮。
  香槟酒塞“嘭”地打开,泡沫四溅。
  在一片欢腾中,温尼克将euv项目负责人,来自台机电的技术大拿闫涛南叫到了一旁相对安静的角落。
  温尼克脸上的笑容稍稍收敛,他需要了解更现实的情况。
  “闫,干得漂亮!
  但现在,我需要知道最真实的数据。
  如果我是说如果,我们的关键子系统被迫启用备用供应商,对良率的影响具体有多大?”
  闫涛南推了推眼镜,技术人的严谨让他迅速进入状态,语气清晰而准确。
  “温尼克先生,情况如下:
  光源系统:
  目前我们使用北美cymer的lpp(激光等离子体)光源,能量转换效率达到5.5%。
  如果换用备用供应商得国trumpf的30kw二氧化碳激光器,其转换效率为3.42%,且稳定性稍逊。
  模拟结果显示,这会导致整体良品率下降约5%。
  光学系统:
  核心是得国蔡斯(zeiss)的euv反射镜,其表面粗糙度控制在惊人的0.1nm以内。