第182章 追光破光刻机难题

  “我们曾经攻克了12英寸晶圆的量產，实现了从无到有的跨越。现在面对的，是从『有』到『精』的壁垒。”

  陈醒的声音在寂静的车间里迴荡，不高，却带著一种定鼎人心的力量，

  “以前，我们是在別人的规则下追赶；今天，他们用断供告诉我们，规则可以被隨时修改。那我们的回答只能是：打破规则，建立属於我们自己的標准！”

  他猛地转身，眼神锐利如刀：

  “从现在起，启动『追光计划』最高应急响应，代號『破晓』！成立三个攻坚小组，我亲自协调资源。”

  “第一组，光刻胶攻坚『火炬小组』，林薇任组长。 不要局限於替代，要瞄准超越！立刻与华科院化学研究所、国內最大的化工集团成立联合实验室。他们负责基础树脂、光酸剂等核心材料的合成纯化，我们负责晶片级別的配方调试与验证。我授权你们，调用『长城计划』首批百亿资金中的百分之三十，不惜代价，在全球范围內搜罗顶尖的光刻胶研发人才和关键原材料！”

  “第二组，设备与工艺攻坚『钥匙小组』，金秉洙博士任组长。 任务有两个：一是逆向工程，吃透阿斯莫光刻机的接口协议，確保自研光刻胶上去能『点亮』，能运行。二是工艺创新，联合哈森院士、章宸博士的架构团队，探索在现有受限设备条件下，通过计算光刻、多重图形技术等软体和工艺手段，弥补硬体精度的不足。我会让赵静的ai团队全力配合，用ai模型来加速光刻工艺的仿真和优化！”

  “第三组，供应链备份与国產化『根须小组』，梁志远任组长。 你的任务是『挖地三尺』，梳理国內所有可能替代的零部件、材料、软体供应商，哪怕性能只有对方的百分之八十，也要扶植起来，建立一条哪怕粗糙但完全自主的『b计划』供应链。同时，启动与欧罗巴、霓虹二线供应商的秘密接触，利用东门子等合作伙伴的渠道，寻找一切可能的技术突破口和替代品。”

  命令一下，整个未来科技和华夏芯谷如同一个上紧了发条的精密仪器，以前所未有的速度运转起来。

  深城，华科院联合实验室內，灯火通明。

  年过花甲但仍奋战在一线的许教授，看著林薇带来的晶圆缺陷图，眉头紧锁：

  “arf光刻胶的难点在於分子结构的精確控制和纳米级別的均匀度。国外巨头积累了数十年，专利壁垒森严。我们之前的研究更多是跟踪仿製，现在要短时间內实现超越，难度极大。”

  “许老，我们没有时间按部就班了。”

  林薇语气坚定，

  “我们必须走一条不一样的路。他们追求极致的解析度，我们是否可以优先追求卓越的缺陷控制率和工艺窗口？哪怕牺牲一点点理论上的解析度，只要能让產线先以可接受的良率跑起来，就是胜利！”