第198章 国產EUV光源突破
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  林薇提出设想。
  金秉洙缓缓摇头，语气透著疲惫：
  “我们试过了。能量一旦降低，euv输出功率就无法满足14nm工艺的光强需求。这是一个死循环，保性能，损部件；保部件，失性能。”
  他看了一眼屏幕旁倒计时的红色数字，
  “距离『天权5號』预定的流片窗口，只剩两周了。”
  实验室里一片死寂，只有设备运行的嗡鸣，像是在为倒计时敲响丧钟。
  就在这时，陈醒的身影出现在实验室门口。
  他刚结束与“泛非项目”团队的跨洋会议，脸上带著旅途的疲惫，但眼神依旧清明锐利。
  他没有寒暄，径直走到主控屏前，默默观察了十分钟那条起伏不定的曲线。
  “问题的核心，是材料极限与能量平衡的矛盾。”
  陈醒的声音打破了沉寂，清晰而冷静，
  “我们不能在现有框架里打转，必须寻找新的突破点。徐教授，合金配方还有优化空间吗？比如引入新的元素，或者採用表层防护技术？”
  陈醒的话让徐文渊眼中一亮：
  “常规的合金强化路径我们已走到瓶颈。但如果採用原子层沉积技术，在喷嘴关键区域镀上一层纳米级的特殊保护膜，或许能极大延缓裂纹產生！只是这需要定製专用设备，工艺难度极高，时间……”
  “设备和人，我来协调！不惜一切代价！”