第386章 45纳米光刻机

  攻关小组在第三个月撞上了南墙。

  何雨柱站在无尘车间外面，隔著玻璃往里看。那台银白色的机器外壳上贴著“45nm实验样机”的標籤，红字蹭掉了一个角。他没进去，就站在那儿，能感觉到里头的气压很低。几个技术员蹲在机器前头，没人说话，只有机器散热风扇嗡嗡转。

  周厂长攥著测试报告出来，报告纸被他手心的汗洇湿了一角。他没递过来，先嘆了口气，声音压在嗓子眼里。

  “何处长，前六次都废了。”

  何雨柱接过报告，翻到第六次测试那一页。曝光均匀性，偏差百分之十五。线宽，四十五纳米正负五纳米。合格率，不到百分之三十。他把报告合上，没说话。

  “镜头热变形，曝光精度不够。线宽控制不住，有的宽，有的窄，短路、断路，一大堆毛病。”周厂长说著，用手比划了一下，“跑起来就热，一热就歪。”

  何雨柱把报告还给他。“钱所长的材料呢？”

  周厂长翻到另一页，手指点了点上面的数据，嘴唇动了动，没立刻接话。“新材料透光率好了两成，可它……”他停顿了一下，像是在斟酌词句，“一开大功率就膨胀。功率小了，曝光时间又太长，一片硅片得晒半天，效率还不如老机器。”

  何雨柱没接话。他推开车间门，走进去。机器还在嗡嗡响，指示灯一闪一闪的。他蹲下来，伸手摸了摸镜头座旁边的外壳，烫的，手心贴上去能感觉到热量往外渗。

  中科院微电子所的王研究员蹲在操作台前头，手里拿著个本子，一边看一边记。他看见何雨柱，站起来，摘下老花镜。

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  “何处长，问题不在材料。镜头热变形是结构的事。散热不均匀，一边热一边凉，镜头就歪了。”

  何雨柱站起来。“能改吗？”

  王研究员没直接回答。他把老花镜戴上，又摘下，用衣角擦了擦镜片。“改散热结构，加冷却水道，让冷却液均匀流过镜头四周。温度稳了，变形就小了。”

  何雨柱转过身，看著周厂长。“改。需要多久？”